硅薄膜 发明专利 176 条 实用新型专利 5 条
序号 专利号 名称
1 02123086.2 轻掺杂漏极结构的低温多晶硅薄膜晶体管及其制作方法
2 01140772.7 "结晶硅薄膜半导体器件,光电器件及前者的制造方法"
3 01808068.5 用于生成四氮化三硅薄膜的超薄氧氮化物的UV预处理方法
4 01139965.1 通过使用三(二甲基氨基)硅烷的原子层沉积形成含硅薄膜的方法
5 02122817.5 单晶碳化硅薄膜的制造方法及制造设备
6 03101694.4 用于薄膜晶体管的多晶硅薄膜及使用该多晶硅薄膜的显示器件
7 03131570.4 一种器件级纳米硅薄膜及其制备工艺
8 02800314.4 硅薄膜的形成方法及硅薄膜太阳能电池
9 03109895.9 多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
10 02155288.6 制作多晶硅薄膜的方法
11 00816502.5 改进的氟掺杂二氧化硅薄膜
12 96122891.1 绝缘体上硅薄膜晶体管
13 96119843.5 复合式绝缘体上硅薄膜基片及其制作方法
14 88105362 硅薄膜区熔再结晶的防气化覆盖层
15 89102140.X 改进的溶液生长硅薄膜的方法
16 90101490.7 低温光化学气相淀积二氧化硅、氮化硅薄膜技术
17 92114905.0 一种纳米硅薄膜的制备方法
18 93101559.6 具有多晶硅薄膜的半导体器件
19 93116734.5 采用晶态硅薄膜阻光层的液晶光阀及其制造方法
20 94112298.0 热壁密装低温低压淀积二氧化硅薄膜技术
21 94191947.1 复原非晶硅薄膜晶体管器件阈值电压漂移的装置
22 97104482.1 用于海水淡化的超滤二氧化硅薄膜的制备方法
23 97120399.7 具有改进的绝缘图形的绝缘体上硅薄膜衬底
24 96114798.9 生长氮氧硅薄膜的方法
25 99101731.5 成膜设备和形成结晶硅薄膜的方法
26 98102663.X 二氧化硅薄膜的生产设备及其所用的生产方法
27 98803398.4 碳化硅薄膜的基座设计
28 98812870.5 用于生产多纳孔二氧化硅薄膜的醇基处理器
29 00129855.0 纳米硅薄膜及其制备工艺
30 99812764.7 硅烷基多纳米孔隙二氧化硅薄膜
31 01108131.7 多晶硅薄膜的制造方法
32 00805497.5 多官能硅基低聚物/聚合物纳米孔二氧化硅薄膜的表面改性中的应用
33 01141324.7 一种纳米硅薄膜的制备工艺和产品
34 01143343.4 化学机械法抛光二氧化硅薄膜用抛光膏
35 01138795.5 低温下用磁控溅射技术制备无应力氧氮硅薄膜
36 01138794.7 用电子回旋共振微波等离子体制备超薄氮化硅薄膜
37 00810687.8 顺序横向固化方法加工期间及其后硅薄膜的表面平面化
38 01106742.X 在蓝宝石衬底上异质外延生长碳化硅薄膜的方法
39 00811030.1 用烷基硅氧烷低聚物和臭氧化学气相沉积氧化硅薄膜
40 02116328.6 在铝酸盐系长余辉荧光粉表面包覆二氧化硅薄膜的方法
41 02102090.6 用于评估多晶硅薄膜的装置
42 02103297.1 氧化硅薄膜的沉积
43 01133118.6 液晶显示器的多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
44 00815428.7 低温下用顺序横向固化制造单晶或多晶硅薄膜的系统和方法
45 00815450.3 用顺序横向固化制造均匀大晶粒和晶粒边界位置受控的多晶硅薄膜半导体的方法
46 02803973.4 熔融二氧化硅薄膜
47 03147935.9 形成多晶硅层以及制作多晶硅薄膜晶体管的方法
48 03132786.9 用于薄膜晶体管的多晶硅薄膜和使用该多晶硅薄膜的器件
49 03158097.1 硅薄膜结晶方法、用该方法的薄膜晶体管及其平板显示器
50 02157809.5 形成多晶硅层的方法以及制造多晶硅薄膜晶体管的方法
51 02151448.8 多晶硅薄膜结晶品质的检测装置及其检测与控制方法
52 02150450.4 利用准分子激光退火工艺制作多晶硅薄膜的方法
53 02151447.X 多晶硅薄膜的晶粒尺寸的控制及其检测方法
54 200310124799.7 具有集成非晶硅薄膜晶体管驱动列的液晶显示装置
55 03101577.8 一种低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
56 200410002983.9 用于沉积含硅薄膜的前体及其方法
57 200410031320.X 多晶硅薄膜晶体管阵列板及其制造方法
58 03107331.X 氧化硅薄膜的制造方法
59 200410003656.5 多晶硅薄膜、其制法以及用该膜制造的薄膜晶体管
60 03105365.3 低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法
61 03122982.4 低温多晶硅薄膜的制造方法及低温多晶硅薄膜晶体管
62 03122318.4 低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
63 03109410.4 低温多晶硅薄膜的制造方法
64 03109485.6 低温多晶硅薄膜晶体管及其多晶硅层的制造方法
65 200310109459.7 解决湿法剥离氮化硅薄膜新的清洗溶液
66 200310117094.2 一种在陶瓷衬底上沉积大晶粒多晶硅薄膜的方法
67 200310117095.7 陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池
68 03131407.4 蚀刻氮化硅薄膜的设备及方法
69 03123733.9 低温多晶硅薄膜电晶体的结构
70 03141245.9 利用准分子激光再结晶工艺来制作多晶硅薄膜的方法
71 03141252.1 利用准分子激光再结晶工艺来制作多晶硅薄膜的方法
72 200410025881.9 用聚乙烯醇作为模板制备多孔二氧化硅薄膜的方法
73 03142882.7 多晶硅薄膜的制造方法
74 03142448.1 低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
75 03145338.4 低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法
76 03147277.X 多晶硅薄膜晶体管液晶显示器的电路布局方法
77 03147491.8 具多个共通电压驱动电路的多晶硅薄膜晶体管液晶显示器
78 200410044831.5 低介电常数绝缘介质氧化硅薄膜及其制备方法
79 200410046199.8 具有多晶硅薄膜晶体管的液晶显示器及其制造方法
80 200410071242.6 包括多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置及其制造方法
81 03143668.4 形成低温多晶硅薄膜晶体管的方法
82 200410038278.4 底栅控制型多晶硅薄膜晶体管的制造方法
83 200410055617.X 硅薄膜太阳能电池的制造方法
84 03153211.X 多晶硅薄膜的制造方法
85 03149649.0 多晶硅薄膜的制造方法
86 03152295.5 低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
87 200410005025.7 具有多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置
88 200410069751.5 半导体元件与其中的多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
89 200410052858.9 硅薄膜异质结太阳电池的制备方法
90 03155605.1 形成多晶硅层及多晶硅薄膜晶体管的方法
91 03158500.0 磁控溅射方法制备碳化硅薄膜工艺
92 200410010970.6 一种具有金属上扩散层的金属诱导多晶硅薄膜制造方法
93 200410010983.3 多栅双沟道结构的多晶硅薄膜晶体管
94 200410084917.0 制作低温多晶硅薄膜的方法
95 200410100598.8 多晶硅薄膜的制造方法和用多晶硅薄膜制造的显示器件
96 02827948.4 非晶硅薄膜晶体管液晶显示器及其制造方法
97 200410088647.0 包括多晶硅薄膜晶体管的液晶显示器件及其制造方法
98 200410103815.9 多晶硅薄膜制造方法以及使用该多晶硅薄膜的设备
99 200410089089.X 氧气氛下等离子氧化制备二氧化硅薄膜的方法
100 200410065842.1 测量多晶硅薄膜热膨胀系数的测量结构及其测量方法
101 200410097520.5 在具有图形的绝缘硅基衬底上制作硅薄膜的方法
102 200310123443.1 低温多晶硅薄膜的制造方法
103 200410082255.3 制造多晶硅薄膜的方法及用其制造晶体管的方法
104 200410085786.8 多晶硅薄膜晶体管的多晶硅膜的形成方法
105 200410010640.7 氧化锌掺杂的二氧化硅薄膜材料的制备方法
106 200510037695.1 笼型多聚物制孔超低介电氧化硅薄膜及其制备方法
107 200510055906.4 一种生长非晶态硅的方法及所得的非晶态硅薄膜
108 200510007961.6 制造多晶硅薄膜的方法和使用该多晶硅的薄膜晶体管
109 200510038675.6 低介电常数多孔氧化硅薄膜及其制备方法
110 03821832.1 普通玻璃基材上的平铺硅薄膜及其制造方法
111 200410026941.9 低温多晶硅薄膜电晶体基板及其制作方法
112 03822854.8 由热化学气相沉积制造氮化硅薄膜和氮氧化硅薄膜的方法
113 03822521.2 硅薄膜晶体管及其制造方法以及显示屏
114 200510002342.8 多晶硅薄膜的制造方法
115 200510097011.7 一种多晶锗硅薄膜的制备方法
116 200510051939.1 多晶硅薄膜晶体管的制作方法
117 200510039283.1 多晶硅薄膜残余应变的在线检测结构及检测方法
118 200510055457.3 氮化硅薄膜及其制造方法
119 200510013862.9 硅薄膜太阳电池用P型窗口层及其制备方法
120 200510027059.0 半导体光伏器件级纳米硅薄膜的制备方法
121 200410018463.7 形成具高电阻值的多晶硅薄膜的方法
122 200510014307.8 硅薄膜太阳电池集成组件及其制备技术
123 200510050891.2 一种选择性外延锗硅薄膜的制备方法
124 200510081929.2 制备多晶硅薄膜的方法以及用其制备半导体器件的方法
125 200510091009.9 具有双栅极结构的非晶硅薄膜晶体管及其制造方法
126 200410071618.3 低温多晶硅薄膜晶体管及其通道层的制造方法
127 200510014464.9 低温多晶硅薄膜晶体管全集成有源选址基板及制备方法
128 200410054469.X 低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
129 200510028451.7 基于二氧化硅薄膜的悬臂梁式点样针尖的集成制造方法
130 200510060566.4 一种多晶锗硅薄膜的制备方法
131 200510027929.4 高电子迁移率氢化纳米硅薄膜的制备方法
132 200510029498.5 运用晶格应变制备高电子迁移率氢化纳米硅薄膜的方法
133 200380101946.7 多晶化方法、制造多晶硅薄膜晶体管的方法及用于该方法的激光辐照装置
134 200410073655.8 多晶硅薄膜晶体管制造方法
135 200410073763.5 蚀刻氮化硅薄膜的设备及方法
136 200510067253.1 多晶硅薄膜晶体管的形成方法
137 200410085114.7 平坦多晶硅薄膜晶体管的制作方法
138 200410080648.0 使用非晶硅薄膜晶体管的高稳定性位移电路
139 200410011136.9 激光退火多晶硅薄膜晶体管栅绝缘层的制备方法
140 200510019798.5 太阳能电池纳米晶硅薄膜的物理气相沉积装置及其方法
141 200410083862.1 多晶硅薄膜晶体管离子感测装置与制作方法
142 200410075872.0 形成多晶硅薄膜的方法，包含多晶硅薄膜的薄膜晶体管及其制造方法
143 200510015747.5 浸沾法金属诱导碟形晶畴多晶硅薄膜材料及制备和应用
144 200480010952.6 制造氧化硅薄膜和光学多层膜的方法
145 200410009861.2 制备绝缘体上锗硅薄膜材料的方法
146 200510057321.6 在具有深槽图形的硅基衬底上制作硅薄膜的方法
147 200510015748.X 溶液法金属诱导晶化大晶粒多晶硅薄膜材料及制备和应用
148 200510119309.3 低温多晶硅薄膜晶体管显示面板及其制造方法
149 200480014798.X 硅薄膜退火方法和由该方法制造的多晶硅薄膜
150 200610054925.X 形成含硅薄膜的方法
151 200610009346.3 激光辐射方法和形成多晶硅薄膜的装置
152 200610025537.9 一种低温化学气相沉积制备氮化硅薄膜的方法
153 200610076993.6 用尘埃等离子体在常温下沉积碳化硅薄膜的装置
154 200610081729.1 具有平坦表面的多晶硅薄膜及其制造方法
155 200510119279.6 多晶硅薄膜制造方法和具有其的薄膜晶体管的制造方法
156 200610061259.2 异形硅薄膜太阳能电池
157 200510079720.2 在硅衬底上磁控溅射制备铁磁性锰硅薄膜的方法
158 200510116780.7 多晶硅薄膜晶体管液晶显示面板及其制造方法
159 200510080415.5 具有低掺杂漏极结构的低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
160 200510087786.6 高压水气退火的多晶硅薄膜晶体管组件的制作方法
161 200610103856.7 形成多晶硅薄膜的方法及用该方法制造薄膜晶体管的方法
162 200510047084.5 高压热充氢制备纳米晶硅薄膜的方法及其专用设备
163 200510098656.2 形成多晶硅薄膜的方法
164 200510098484.9 薄膜晶体管及低温多晶硅薄膜晶体管之多晶硅层的制造方法
165 200580007987.9 使用紫外线辐射使含硅薄膜低温外延生长的方法
166 200610117155.9 廉价多晶硅薄膜太阳电池
167 200580009563.6 结晶性硅薄膜的形成方法及装置
168 200510086466.9 提高硅薄膜致密性的制备方法
169 200510116621.7 一种低温多晶硅薄膜器件及其制造方法与设备
170 200610139874.0 适用于有机发光二极管显示器的多晶硅薄膜象素电极
171 200610121897.9 多晶硅薄膜、其制法以及用该膜制造的薄膜晶体管
172 200610123789.5 择优取向的多晶硅薄膜的制备方法
173 200610121898.3 具有多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置
174 200610139877.4 使用固体激光器退火的多晶硅薄膜制备半导体器件的方法
175 200610078728.1 叠层储存电容器结构、低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器
176 200510131794.6 多晶硅薄膜的制作方法
1 99250743.X 非晶硅薄膜太阳能电池制作装置
2 200320112910.6 多晶硅薄膜晶体管离子注入机
3 200420065978.8 低温多晶硅薄膜晶体管
4 200420073977.8 低温多晶硅薄膜晶体管
5 200420072104.5 低温多晶硅薄膜晶体管基板