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四氯化硅 发明专利 (16 )条 实用新型专利 (2)条
序号 申请号 专利名称 1 02158617.9 一种四氯化硅、多晶硅和石英玻璃的联合制备法 2 200310122893.9 光纤用高纯四氯化硅的生产方法 3 200610046007.2 锆英砂沸腾氯化反应中产生的四氯化硅的回收提纯方法 4 200510063207.4 卧式四氯化硅气相沉积合成石英玻璃的方法 5 200580000929.3 纯化含有氢化合物的四氯化硅或四氯化锗的方法和装置 6 200510003081.1 一种分离和富集回收四氯化硅的工艺技术 7 200580012452.0 通过四氯化硅的催化加氢脱卤制备三氯甲硅烷的工艺 8 200580012453.5 通过四氯化硅的催化加氢脱卤制备三氯甲硅烷的方法 9 200510015848.2 光纤级高纯度四氯化硅生产方法 10 200580039715.7 提纯三氯硅烷和四氯化硅的方法和设备 11 200520123886.5 四氯化硅回收装置 12 02137592.5 用三氯氢硅和四氯化硅混合源生产多晶硅的方法 13 02104524.0 四氯化硅氢化生产三氯氢硅的方法 14 03122969.7 立式四氯化硅汽相沉积合成石英玻璃的方法 15 85107465 四氯化硅氢化新工艺 16 97118046.6 四氯化硅的制造方法 17 98811584.0 生产四氯化硅基的有机改性的气凝胶的方法 18 02201590.6 一种四氯化硅氢化生产三氯氢硅的装置
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