硅棒 发明专利 (33 )条   实用新型专利 (15)条 
序号 专利号 名称
1 02137592.5 用三氯氢硅和四氯化硅混合源生产多晶硅的方法
2 01136694.X 一种用于直拉硅单晶制备中的掺杂方法及其装置
3 01136769.5 一种提高直拉硅单晶棒中氧含量的方法及增氧器
4 01134359.1 直拉硅单晶炉热屏方法及热屏蔽器
5 01810701.X 多晶硅棒及其加工方法
6 02159135.0 气相掺杂区熔硅单晶的生产方法
7 03109067.2 气相预掺杂和中子辐照掺杂组合的区熔硅单晶的生产方法
8 02126954.8 光纤、光纤预制棒及制造光纤预制棒的方法
9 97102309.3 恰克拉斯基法硅晶体生长系统的快速冷却
10 92109354.3 利用会切磁场和晶体及坩埚转速的组合控制硅晶体氧含量的方法
11 97122810.8 控制重掺锑或砷的硅片中氧含量的方法和装置
12 97190589.4 多晶硅棒及其制造方法
13 98806904.0 低缺陷浓度的硅
14 98807993.3 用于单晶硅生长的非Dash缩颈法
15 98805271.7 低缺陷密度、自-填隙原子受控制的硅
16 99812097.9 供晶体生长装置内电阻加热器用的电极装配
17 00802205.4 生产单同位素硅Si²⁸的方法
18 200710133581.6 单晶硅高效复合切割方法及其切割系统
19 200710025480.7 二氧化硅蒸镀材料的制备方法
20 200810017263.8 基于数字信号处理器的双相机直拉单晶直径测量方法
21 200710192803.1 单晶硅棒制造方法和单晶硅棒结构
22 200410021979.7 多晶硅氢还原炉
23 02154384.4 控制重掺锑或砷的硅片中氧含量的方法和装置
24 02812813.3 利用掺杂二氧化硅制作的微透镜光纤
25 200610058336.9 低缺陷密度、自间隙原子为主的硅
26 200610139268.9 低缺陷浓度的硅
27 200510094904.6 单晶硅切方机构
28 200610069995.2 电焙烧炉
29 200610105331.7 基于霍夫变换的直拉单晶硅棒直径的测量方法
30 200710068676.4 硅棒自动拉锭机构
31 200710052245.9 硅片切片的新方法
32 200710017694.X 一种生长方柱体单晶棒的生产方法及控制装置
33 200710018636.9 一种从切割废砂浆中回收硅粉和碳化硅粉的方法
1 02269722.5 碳化硅制品高温烧成碳管炉炉体
2 87200583 一种新型的测氟仪
3 89213391.0 区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构
4 91217047.6 采油用浸浴式电热器
5 95230967.X 电热膜喷镀炉
6 96204972.7 硅碳棒加热自动控制控温仪
7 00225300.3 环保型节能电灶
8 200720169527.2 用于截断不规则的大直径单晶头、尾的工具
9 200720081577.5 多晶硅氢还原炉
10 200720081580.7 多晶硅氢还原炉进气喷口
11 200420033142.X 多晶硅氢还原炉
12 200520076510.3 单晶硅切方装置
13 200620002303.8 单晶硅棒切方滚磨机床
14 200520110444.7 单晶硅棒切方滚磨机床
15 200620149156.7 从不规则硅块钻取硅单晶棒的工具